--De kamer van de glasverwerking: ∮100mm; hoge 130mm.
--De grootte van het specimenstadium: ∮40mm (Greep 6 specimenkoppen)
--Gouden doelgrootte:
∮58mm*0.12mm (dikte)
--Vacuümopsporing: Piranipand
--Vacuümbescherming: pa 20 met de klep van de micro-schaalinflatie
--Middelgroot Gas: Argon of lucht met van het de luchtinham en gas van het argongas het speciale regelen in micro-schaal.
A50.7011 sputtert het Ion Coater | |
Luchtledige kamer | Dia 100mm*H130mm |
Specimenstadium | Dia 40mm (Greep 6 Specimenkoppen) |
Gouden Sputterend Doel | Dia 58mm*0.12mm (dikte) |
Vacuümmaat | Piranipand |
Vacuümpomp | Omwentelingsvin Pums: 2L/s |
Vacuümbeveiligingspunt | 20Pa met de Klep van de Micro-schaalinflatie |
Werkend Gas | Argon of lucht met van het de luchtinham en gas van het argongas het speciale regelen in micro-schaal |
Het sputteren Voltage | 1.6KV |
Brutogewicht | 48kg |
Naleving | Ce |