| A63.7080, A63.7081 Softwarehoofdfunctie | ||
| Geïntegreerde inbedrijfstelling met hoge spanning | Automatisch filament aan/uit | Potentiële verschuivingsregulering |
| Helderheid aanpassing | Elektrisch tot centraal verstelbaar | Automatische helderheid |
| Contrastaanpassing | Objectief aanpassing | Autofocus |
| Vergrotingsaanpassing | Objectieve demagnetisering | Automatische eliminatie van astigmatisme |
| Geselecteerde gebiedscanmodus | Elektrische rotatieverstelling | Beheer van microscoopparameters |
| Puntscanmodus | Aanpassing van de verplaatsing van de elektronenbundel | Realtime weergave van de scanveldgrootte |
| Lijnscanmodus | Kantelaanpassing van elektronenbundels | Afstelling pistoollens |
| Oppervlakte scannen | Aanpassing van de scansnelheid | Meerkanaals ingang |
| Bewaking van hoogspanningsvermogen | Swing centreren | Liniaal meting |
| SEM | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| Oplossing | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) |
1,5 nm@30KV(SE) 3nm@30KV(BSE) |
1,0 nm@30KV (SE) 3,0 nm@1KV(SE) 2,5 nm@30KV (BSE) |
| Vergroting | 1x~450000x,Negatieve ware vergroting | 1x~600000x, negatieve ware vergroting | 1x ~ 3000000x negatieve ware vergroting |
| Elektronen pistool | Voorgecentreerde wolfraamfilamentcartridge | Schottky veldemissiekanon | Schottky veldemissiekanon |
| Spanning | Versnelspanning 0,2~30kV, continu instelbaar, stap aanpassen 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Snelle weergave | Eén toets Quick View-afbeeldingsfunctie | N.v.t | N.v.t |
| Lenssysteem | Elektromagnetische taps toelopende lens met drie niveaus | Elektromagnetische taps toelopende lens met meerdere niveaus | |
| Opening | 3 Molybdeen-objectiefopeningen, verstelbaar buiten het vacuümsysteem, geen noodzaak om het objectief te demonteren om het diafragma te veranderen | ||
| Vacuümsysteem | 1 moleculaire turbopomp 1 mechanische pomp Monsterkamervacuüm>2,6E-3Pa Elektronenkanonkamervacuüm>2,6E-3Pa Volledig automatische vacuümregeling Vacuümvergrendelingsfunctie Optioneel model: A63.7069-LV 1 moleculaire turbopomp 2Mechanische pompen Monsterkamervacuüm>2,6E-3Pa Elektronenkanonkamervacuüm>2,6E-3Pa Volledig automatische vacuümregeling Vacuümvergrendelingsfunctie Laag vacuümBereik 10~270Pa Voor snelle omschakeling in 90 seconden Voor BSE(LV) |
1 Ionenpompset 1 moleculaire turbopomp 1 mechanische pomp Monsterruimte Vacuüm>6E-4Pa Elektronenkanonkamervacuüm>2E-7 Pa Volledig automatische vacuümregeling Vacuümvergrendelingsfunctie |
1 Sputter-ionenpomp 1 Getter-ionenverbindingspomp 1 moleculaire turbopomp 1 mechanische pomp Monsterruimte Vacuüm>6E-4Pa Elektronenkanonkamervacuüm>2E-7 Pa Volledig automatische vacuümregeling Vacuümvergrendelingsfunctie |
| Detector | SE: Secundaire elektronendetector met hoog vacuüm (met detectorbescherming) | SE: Secundaire elektronendetector met hoog vacuüm (met detectorbescherming) | SE: Secundaire elektronendetector met hoog vacuüm (met detectorbescherming) |
| BSE: Halfgeleider 4-segmentatie Terugverstrooiingsdetector |
Optioneel | Optioneel | |
| Optioneel model: A63.7069-LV BSE(LV): Halfgeleider 4 segmentatie Terugverstrooiingsdetector |
|||
| CCD:Infrarood CCD-camera | CCD:Infrarood CCD-camera | CCD:Infrarood CCD-camera | |
| Poort uitbreiden | 2 Verleng poorten op monsterruimte voor EDS, BSD, WDS enz. |
4 Verleng poorten op monsterruimte voor BSE, EDS, BSD, WDS enz. |
4 Verleng poorten op monsterruimte voor BSE, EDS, BSD, WDS enz. |
| Monsterstadium | 5 Assen Podium, 4Auto+1HandmatigControle Reisbereik: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90° (Handmatig) Raak waarschuwings- en stopfunctie aan Optioneel model: A63.7069-L5 assen automatisch groot podium |
5 AssenAuto MiddenFase Reisbereik: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Raak waarschuwings- en stopfunctie aan Optioneel model: A63.7080-L5 AssenAuto GrootFase |
5 AssenAuto GrootFase Reisbereik: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Raak waarschuwings- en stopfunctie aan |
| Maximaal exemplaar | Diameter 175 mm, hoogte 35 mm | Diameter 175 mm, hoogte 20 mm | Dia.340 mm, hoogte 50 mm |
| Beeldsysteem | Echt stilstaand beeld Max. resolutie 4096x4096 pixels, Beeldbestandsformaat: BMP (standaard), GIF, JPG, PNG, TIF |
Echt stilstaand beeld Max. resolutie 16384x16384 pixels, Beeldbestandsformaat: TIF (standaard), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Automatische opname van digitale .AVI-video |
Echt stilstaand beeld Max. resolutie 16384x16384 pixels, Beeldbestandsformaat: TIF (standaard), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Automatische opname van digitale .AVI-video |
| Computer en software | PC-werkstation Win 10-systeem, met professionele beeldanalysesoftware voor volledige controle van de hele werking van de SEM-microscoop, computerspecificatie niet minder dan Inter I5 3,2 GHz, 4G-geheugen, 24-inch IPS LCD-monitor, 500G harde schijf, muis, toetsenbord | ||
| Fotoweergave | Het beeldniveau is rijk en nauwgezet en toont real-time vergroting, liniaal, spanning en grijscurve | ||
| Dimensie & Gewicht |
Microscooplichaam 800x800x1850mm Werktafel 1340x850x740mm Totaal gewicht 400 kg |
Microscooplichaam 800x800x1480mm Werktafel 1340x850x740mm Totaal gewicht 450 kg |
Microscooplichaam 1000x1000x1730mm Werktafel 1330x850x740mm Totaal gewicht 550 kg |
| Optionele accessoires | |||
| Optionele accessoires | A50.7002EDS Energiedispersieve röntgenspectrometer A50.7011Ionensputtercoater |
A50.7001BSE terugverstrooiingselektronendetector A50.7002EDS Energiedispersieve röntgenspectrometer A50.7011Ionensputtercoater A50.7030Motoriseer het bedieningspaneel |
A50.7001BSE terugverstrooiingselektronendetector A50.7002EDS Energiedispersieve röntgenspectrometer A50.7011Ionensputtercoater A50.7030Motoriseer het bedieningspaneel |
| A50.7001 | BSE-detector | Halfgeleider-terugverstrooiingsdetector met vier segmenten; Verkrijgbaar in ingrediënten A+B, morfologie-informatie AB; Beschikbare monsters observeren zonder goud te sputteren; Beschikbaar in Observeer onzuiverheid en distributie rechtstreeks vanuit grijswaardenkaart. |
| A50.7002 | EDS (röntgendetector) | Siliciumnitride (Si3N4) venster om röntgentransmissie met lage energie te optimaliseren voor analyse van lichtelementen; Uitstekende resolutie en hun geavanceerde, geluidsarme elektronica zorgen voor uitstekende doorvoerprestaties; De kleine footprint biedt flexibiliteit om ideale geometrie en Aata-collectieomstandigheden te garanderen; De detectoren bevatten een chip van 30 mm2. |
| A50.7003 | EBSD (Elektronenbundel terugverstrooide diffractie) | de gebruiker kan de kristaloriëntatie, kristalfase en microtextuur van materialen en gerelateerde materiaalprestaties analyseren, enz. automatische optimalisatie van EBSD-camera-instellingen voer tijdens de gegevensverzameling interactieve real-time analyses uit om maximale informatie te verkrijgen alle gegevens zijn voorzien van een tijdlabel, dat op elk moment kan worden bekeken hoge resolutie 1392 x 1040 x 12 Scan- en indexsnelheid: 198 punten / sec, met Ni als standaard, onder de voorwaarde van 2 ~ 5nA, kan het indexpercentage ≥99% worden gegarandeerd; werkt goed onder de voorwaarde van dimlichtstroom en lage spanning van 5 kV bij 100 pA oriëntatiemeetnauwkeurigheid: beter dan 0,1 graden Met behulp van het triplex-indexsysteem: u hoeft niet te vertrouwen op de definitie van één band, eenvoudige indexering van slechte patroonkwaliteit speciale database: speciale EBSD-database verkregen door elektronendiffractie: >400 fasestructuur Indexvermogen: het kan automatisch alle kristalmaterialen van 7 kristalsystemen indexeren. De geavanceerde opties omvatten het berekenen van de elastische stijfheid (Elastic Stiffness), Taylor (Taylor)-factor, Schmidt (Schmid)-factor, enzovoort. |
| A50.7010 | Coatingmachine | Glazen beschermschaal: ∮250 mm; 340 mm hoog; Glazen verwerkingskamer: ∮88mm; 140 mm hoog, ∮88 mm; 57 mm hoog; Afmetingen monsterpodium: ∮40 mm (max); Vacuümsysteem: molecuulpomp en mechanische pomp; Vacuümdetectie: Pirani Gage; Vacuüm: beter dan 2 x 10-3 Pa; Vacuümbescherming: 20 Pa met microschaal-opblaasventiel; Specimenbeweging: vlakrotatie, kantelprecessie. |
| A50.7011 | Ionensputtercoater | Glazen verwerkingskamer: ∮100 mm; 130 mm hoog; Afmetingen monsterpodium: ∮40 mm (plaats voor 6 monsterbekers); Gouden doelgrootte: ∮58 mm * 0,12 mm (dikte); Vacuümdetectie: Pirani Gage; Vacuümbescherming: 20 Pa met microschaal-opblaasventiel; Middelgroot gas: argon of lucht met speciale luchtinlaat voor argongas en gasregulering op microschaal. |
| A50.7012 | Argonionen sputtercoater | Het monster werd onder hoog vacuüm bedekt met koolstof en goud; Draaibare monstertafel, uniforme coating, deeltjesgrootte ongeveer 3-5 nm; Geen selectie van doelmateriaal, geen schade aan monsters; De functies van ionenreiniging en ionenverdunning kunnen worden gerealiseerd. |
| A50.7013 | Kritieke puntdroger | Binnendiameter: 82 mm, binnenlengte: 82 mm; Drukbereik: 0-2000 psi; Temperatuurbereik: 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Elektronenbundellithografie | Op basis van een scanning-elektronenmicroscoop werd een nieuw nano-belichtingssysteem ontwikkeld; De wijziging heeft alle Sem-functies behouden voor het maken van lijnbreedteafbeeldingen op nanoschaal; Het gemodificeerde Ebl-systeem wordt op grote schaal toegepast in micro-elektronische apparaten, opto-elektronische apparaten, Quantun-apparaten en onderzoek en ontwikkeling van micro-elektronicasystemen. |
| A63.7080, A63.7081 Standaarduitrusting met verbruiksartikelen | |||
| 1 | Veldemissiefilament | Geïnstalleerd in microscoop | 1 st |
| 2 | Voorbeeld beker | Diameter 13 mm | 5 stuks |
| 3 | Voorbeeld beker | Diameter 32 mm | 5 stuks |
| 4 | Dubbelzijdige geleidende tape van koolstof | 6 mm | 1 pakket |
| 5 | Vacuüm vet | 10 stuks | |
| 6 | Haarloze doek | 1 buis | |
| 7 | Polijstpasta | 1 st | |
| 8 | Voorbeelddoos | 2 Zakken | |
| 9 | Wattenstaafje | 1 st | |
| 10 | Olienevelfilter | 1 st | |
| A63.7080, A63.7081 Standaard gereedschaps- en onderdelenuitrusting | |||
| 1 | Binnenzeskantsleutel | 1,5 mm ~ 10 mm | 1 Instellen |
| 2 | Pincet | Lengte 100-120 mm | 1 st |
| 3 | Sleufschroevendraaier | 2*50mm, 2*125mm | 2 stuks |
| 4 | Kruis schroevendraaier | 2*125mm | 1 st |
| 5 | Ontluchtingspijp reinigen | Dia.10/6,5 mm (buitendiameter/binnendiameter) | 5m |
| 6 | Ontlucht drukreduceerventiel | Uitgangsdruk 0-0,6 MPa | 1 st |
| 7 | Interne bakvoeding | 0-3A gelijkstroom | 2 stuks |
| 8 | UPS-voeding | 10kVA | 2 stuks |
| Scanning-elektronenmicroscoop Monstervoorbereidingsinstrument | ||