◆Verkleind en afneembaar ontwerp, zeer gemakkelijk te dragen en het klaslokaalonderwijs
◆Het opsporingshoofd en het stadium van het steekproefaftasten zijn geïntegreerd, is de structuur zeer stabiel, en anti-interference is sterk
◆De steekproef van de enig-asaandrijving nadert automatisch de sonde verticaal, zodat het naalduiteinde aan het steekproefaftasten loodrecht is
◆De intelligente naald het voeden methode van motor-gecontroleerde onder druk gezette piezoelectric ceramische automatische opsporing beschermt de sonde en de steekproef
◆Zijccd-observatiesysteem, observatie in real time van de de toevoegingsstaat van de sondenaald en het plaatsen van het het aftastengebied van de sondesteekproef
◆De schokbestendige methode van de de lenteopschorting, eenvoudig en praktisch, goed schokbestendig effect
◆Geïntegreerde de gebruikersredacteur van de scanner niet-lineaire correctie, nanometerkarakterisering en metingsnauwkeurigheid dan beter 98%
A61.4510 | |
Het werkwijze | Constant Height Mode Constant Current Mode |
Huidige Spectrumkromme | I-V Curve Huidig-afstandskromme |
X-Y Aftastenwaaier | 5×5um |
X-Y Aftastenresolutie | 0.05nm |
Z Aftastenwaaier | 1um |
Y Aftastenresolutie | 0.01nm |
Aftastensnelheid | 0.1Hz~62Hz |
Aftastenhoek | 0~360° |
Steekproefgrootte | Φ≤68mm H≤20mm |
Het X-Y Stadium Bewegen zich | 15×15mm |
Schokbrekend Ontwerp | De lenteopschorting |
Optische Syestem | 1~500x ononderbroken Gezoem |
Output | USB2.0/3.0 |
Software | Winst XP/7/8/10 |
Microscoop | Optische Microscoop | Elektronenmicroscoop | De Microscoop van de aftastensonde |
Max Resolution (um) | 0,18 | 0,00011 | 0,00008 |
Opmerking | Olieonderdompeling 1500x | De koolstofatomen van de weergavediamant | Atomen van de weergave high-order grafietkoolstof |
Sonde-steekproef Interactie | Maatregelensignaal | Informatie |
Kracht | Elektrostatische Kracht | Vorm |
Tunnelstroom | Huidig | Vorm, Geleidingsvermogen |
Magnetische Kracht | Fase | Magnetische Structuur |
Elektrostatische Kracht | Fase | lastendistributie |
Resolutie | Arbeidsvoorwaarde | Het werken Temperation | Damge aan Steekproef | Inspectiediepte | |
SPM | Atom Level 0.1nm | Normaal, Vloeibaar, Vacuüm | Zaal of Lage Temperation | Niets | 1~2 Atom Level |
TEM | Punt 0.3~0.5nm Rooster 0.1~0.2nm |
Hoog Vacuüm | Zaal Temperation | Klein | Gewoonlijk <100nm> |
SEM | 6-10nm | Hoog Vacuüm | Zaal Temperation | Klein | 10mm @10x 1um @10000x |
FIM | Atom Level 0.1nm | Super Hoog Vacuüm | 30~80K | Damge | Atom Thickness |