|
▶A64.5401 Eigenschappen 1) De meting en analysesoftware met geïntegreerde verrichting te hoeven niet om de interface voor verrichting te schakelen, en de configuratieparameters worden geplaatst vooraf vóór meting. De software telt automatisch de metingsgegevens en verstrekt de de uitvoerfunctie van het gegevensrapport, die de functie van de partijmeting kan snel realiseren. 2) Verstrek de automatische functie van de multi-gebiedsmeting, partijmeting, automatische nadruk, automatische helderheidsaanpassing en andere automatische functies. 3) Verstrek het stikken metingsfunctie. 4) Verstrek gegevens - verwerkingsfuncties van de vier modules van positieaanpassing, correctie, het filtreren en extractie. De positieaanpassing omvat functies zoals en beeld die nivelleren weerspiegelen; de correctie omvat functies zoals het ruimte filtreren, het retoucheren, en het piek denoising; het filtreren omvat functies zoals vormverwijdering, het standaard filtreren, en het spectrale filtreren; de extractie omvat functies zoals het halen van gebieden en het halen van profielen. 5) Verstrek vijf belangrijke analysefuncties met inbegrip van geometrische profielanalyse, ruwheidsanalyse, structuuranalyse, frequentieanalyse en functieanalyse. Onder hen, omvat de geometrische profielanalyse eigenschappen zoals staphoogte, afstand, hoek, kromming en andere functies, en eerlijkheid, de evaluatie van de rondheidstolerantie en andere functies; de ruwheidsanalyse omvat lijnruwheid volgens internationale normen ISO4287, ISO25178-oppervlakteruwheid, de nivellerende Graad van ISO12781 en andere functies van de volledig-parameteranalyse; de structurele analyse omvat porievolume en trogdiepte, enz. de frequentieanalyse omvat functies zoals textuurrichting en spectrumanalyse; de functionele analyse omvat functies zoals SK-parameters en volumeparameters. 6) Verstrek hulpanalysefuncties zoals één-zeer belangrijke analyse en de multi-dossieranalyse, de vastgestelde die analysemalplaatjes, met de automatische die meting en van de partijmeting functies wordt gecombineerd in de meting worden verstrekt, het kunnen de partijmeting van kleine precisieapparaten realiseren en direct de analysegegevens verkrijgen. |
|
Confocal microscoop is een het testen instrument voor nanometermeting wordt gebruikt van diverse precisieapparaten en materialen dat. Het is gebaseerd die op het principe van confocal technologie, met de poreuze technologie van het schijf parallelle aftasten, nauwkeurige z-Richting aftastenmodule, 3D modelleringsalgoritme wordt gecombineerd, enz. niet-contactaftasten op de oppervlakte van het apparaat uit te voeren en een oppervlakte 3D beeld te vestigen. Het 3D beeld van de apparatenoppervlakte wordt uitgevoerd door de systeemsoftware. Gegevens - verwerking en analyse, en verkrijg 2D en 3D parameters die op de oppervlaktekwaliteit van het apparaat wijzen, om het optische inspectieinstrument voor 3D meting van de oppervlaktetopografie van het apparaat te realiseren. |
| A64.5401 Confocal Blad van de Microscoop Technische Specificatie | ||
| Het meten van principe | Confocal optisch systeem | |
| Microscoop objectieve lens | 10× (Norm), 20×, 50×, (Facultatieve) 100× | |
| Gebied van mening | 160×160 μm~1.6×1.6 mm | |
| Aftastenkader rate*1 | ≥10HZ | |
| Hoogtemeting | Repeatability*2 | 20×: 40nm; 50×: 20nm; 100×: 20nm |
| Accuracy*2 | ± (0.2+L/100) μm | |
| Vertoningsresolutie | 0.5nm | |
| Breedtemeting | repeatability*3 | 20×: 100nm; 50×: 50nm; 100×: 30nm |
| Accuracy*3 | ± 2% | |
| Vertoningsresolutie | 1nm | |
| X-Y verplaatsingsplatform | grootte | 210×210 mm |
| Bewegende waaier | 100×100 mm | |
| Lading | 10kg | |
| Controlemethode | elektrisch | |
| Z-richting bewegingswaaier | 100 mm | |
| Objectieve lenstoren | gemotoriseerd 5-gat | |
| Verlichting | lichtbron | Leiden |
| Maximumoutput | 840mW | |
| Afmetingen | 590×390×540mm | |
| Totaal gewicht | 45kg | |
| Voeding | AC220V/50Hz | |
| Werkomgeving | Temperatuur 10℃~35℃, de notulen van de temperatuur <1>gradiënt ℃ /15, vochtigheid 30~80%, Trilling <0> | |
| Bericht: *1 gebruik een 20x-lens om een 4.7µm standaardblok van de stapsteekproef bij een omgevingstemperatuur van 20±2°C. te meten. *2 meet het 4.7µm standaardblok van de stapsteekproef bij een omgevingstemperatuur van 20±2°C met een lens van 20 keer of meer. *3 gebruik een lens van 20 keer of meer om de standaarddradenkruissteekproef bij een omgevingstemperatuur van 20±2°C. te meten. |
||
| Objectieve lensspecificaties | ModelField die van Weergeven Afstands (W.D.) werken Numerieke Opening (N.A.) | |
| 10X 1600×1600 μm 10,6 mm 0,25 | ||
| 20X 800×800 μm 1,3 mm 0,40 | ||
| 50X 320×320 μm 0,38 mm 0,75 | ||
| 100X 160×160 μm 0,21 mm 0,90 | ||
| De lijst van de productconfiguratie Standaardconfiguratie: |
1) A64.5401 Hoofdlichaam | |
| 2) X-Y verplaatsingsstadium: automatisch verplaatsingsstadium | ||
| 3) Merkcomputer | ||
| 4) De module van de systeemkaliberbepaling | ||
| 5) Bedieningshendel | ||
| 6) Confocal microscoopsoftware | ||
| 7) De doos van instrumententoebehoren | ||
| 8) Producthandboek | ||
| 9) Productcertificaat, garantiekaart | ||
| Facultatief | 1) Het meten van objectieve lens: 20×, 50×, 100× | |
| 2) Vacuümzuigingslijst (voor halfgeleiderwafeltjes): 6 duim, 8 duim; | ||
| 3) Automatische meting die de module van de metingsfunctie (vereist hardwaresteun) verbinden | ||
|
Voer de eigenschappen van de oppervlaktetopografie zoals oppervlaktecontouren, oppervlaktetekorten, slijtagevoorwaarden, corrosievoorwaarden, vlakheid, ruwheid, golvendheid, poriehiaten, staphoogten, buigende misvormingen, en verwerkingsvoorwaarden van uit diverse producten, componenten en materialen. Meting en analyse. |
|
▶4.1 hoge Precisie en Hoge Herhaalbaarheid Het meetsysteem uit weergavesensoren met geringe geluidssterkte wordt samengesteld, de krachtige optische componenten en de codeurs, en de uitstekende 3D wederopbouwalgoritmen verzekeren de meting die aan de normen die voldoet; wortel geschoten in de metingsindustrie vele jaren, verzekeren dezelfde lijn van industrieel ontwerp en het hoogste verwerkingsniveau een hoog niveau de metingsherhaalbaarheid. |
|
▶4.2 hoge snelheids Parallel Aftasten Het parallelle aftasten met meerdere balies van het profiel die de poreuze die schijf gebruiken verbetert zeer de het werkefficiency met de traditionele single-point aftastenregeling wordt vergeleken van de galvanometer, en het aftasten kan in slechts een paar seconden worden voltooid. |
|
▶4.3 sterk Aanpassingsvermogen Het meetsysteem heeft een ultrahoog dynamisch bereik want de verschillende steekproef, oppervlakteingewikkeldheid, en oppervlaktereflectievermogen stelt.
▶4.4 geïntegreerde Meting en Analysesoftware 1) De meting en de analyse worden in werking gesteld op dezelfde interface, zonder omschakeling, wordt het metingsgegeven automatisch geteld, en de functie van snelle partijmeting wordt gerealiseerd; 2) Het visuele venster is geschikt voor gebruikers om het aftastenproces in realtime waar te nemen; 3) Gecombineerd met de automatische metingsfunctie van het malplaatje van de douaneanalyse, kan het het de meting en de analyseproces van het multi-gebied automatisch voltooien; 4) De vijf functionele modules van geometrische analyse, ruwheidsanalyse, structuuranalyse, frequentieanalyse, en functieanalyse zijn volledig; 5) De één-klik analyse, multi-dossieranalyse, wordt vrij gecombineerde analysepunten bewaard als analysemalplaatjes, één-klik analyse van partijsteekproeven, en de gegevensanalyse en de statistische grafiekfuncties worden verstrekt; 6) Meer dan 300 2D en 3D parameters kunnen volgens ISO/ASME/EUR/GBT en andere normen worden gemeten. |
|
▶4.5 precisiebedieningshendel De bedieningshendel met de functie van verplaatsingsaanpassing wordt geïntegreerd in de drie richtingen van X, Y, en Z kan het pre-metingswerk snel voltooien zoals die stadium het vertaal en z-Richting concentreren.
▶4.6 antibotsingsontwerp Vermijd schade aan de objectieve die lens en het voorwerp wegens botsing te meten door Misoperation wordt veroorzaakt.
▶4.7 volledig Elektrische Microscoop Uitgerust met een reeks elektrische delen, werken deze dicht verbonden elektrische delen samen om observatie snel en eenvoudig te maken. |
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
