Specificatie | A63.7140 | A63.7160 | |
Belangrijkste parameters | Resolutie |
1.4nm@15kV(SE)
2.5nm@30.0kV (BSE)
|
0.9nm@30kV(SE) 1.2nm@15kV ((SE) 1.5nm@1kV(SE, BD-modus) |
Versnellingsspanning | 00,02 kV~30 kV | 00,02 kV~30 kV | |
Vergroting | 1~2000000x | 1~2000000x | |
Elektronenpistool | Schottky Thermal Field Emission Gun | Schottky Thermal Field Emission Gun | |
Stroom van de sonde | 1pA~40nA | 1pA~40nA | |
Zichtveld | 6 mm | 6 mm | |
Tijd van verblijf | 20 ns | 20 ns | |
Beam Deflection | - Dat is... | Dual beam deflection system: Elektromagnetisch en statisch hybride straalafbuigingssysteem |
|
Objectief | Dual Objective System: Magnetisch objectief & elektrostatisch objectief, magnetisch monster aanpasbaar |
Dual Objective System: Magnetisch objectief & elektrostatisch objectief, magnetisch monster aanpasbaar |
|
Gewerenopening | (10 μm, 30 μm, 70 μm, 100 μm, 150 μm, 220 μm) * 2 sets (1 voor back-up), gemotoriseerd verplaatsen | (10 μm, 30 μm, 70 μm, 100 μm, 150 μm, 220 μm) * 2 sets (1 voor back-up), gemotoriseerd verplaatsen | |
Kamer | Grootte van de kamer | Breedte 370 mm, hoogte 330 mm, diepte 344 mm | Breedte 370 mm, hoogte 330 mm, diepte 344 mm |
Uitbreidingspoort | 10 Havens | 10 Havens | |
Vacuumsysteem | 2 Ionenpomp 1 Turbo-moleculaire pomp 1 Mechanische pompolievrij |
2 Ionenpomp 1 Turbo-moleculaire pomp 1 Mechanische pompolievrij |
|
Gewerenvacuüm: 2x10-7Pa Kamervacuüm: 6x10-4Pa |
Gewerenvacuüm: 2x10-7Pa Kamervacuüm: 6x10-4Pa |
||
Stage | 5 Assen Auto Stage, X:130mm, Y:130mm, Z:60mm, R: 360°, T: -10°~70°, maximale belasting > 500 g | 5 Assen Auto Stage, X:130mm, Y:130mm, Z:60mm, R: 360°, T: -10°~70°, maximale belasting > 500 g | |
Camera | Optische kleurnavigatie CCD Hoge-definitie IR CCD |
Optische kleurnavigatie CCD Hoge-definitie IR CCD |
|
Detectoren en uitbreidingen | Standaard | SE-detector | SE-detector Inlens SE-detector |
PC & Software | Computer | Werkstation, geheugen 16G, harde schijf 512G, 24" monitor, Win10 systeem | Werkstation, geheugen 16G, harde schijf 512G, 24" monitor, Win10 systeem |
Controle | Bediening & Joystick | Bediening & Joystick | |
Software | Autofocus, Auto Stigmator, Auto Brightness Contrast, beeldformaat TIFF,JPG,PNG,BMP, beelduitvoerresolutie Max 16k*16k | Autofocus, Auto Stigmator, Auto Brightness Contrast, beeldformaat TIFF,JPG,PNG,BMP, beelduitvoerresolutie Max 16k*16k | |
Optioneel accessoire | A50.7101 | BSE | BSE |
A50.7102 | - | InLens BSE | |
A50.7103 | Energieverspreidingsspectroscopie (EDS/EDX) | Energieverspreidingsspectroscopie (EDS/EDX) | |
A50.7104 | Elektronenverscheuringsdiffractiepatroon (EBSD) | Elektronenverscheuringsdiffractiepatroon (EBSD) | |
A50.7105 | EDS+EBSD | EDS+EBSD | |
A50.7106 | Scanning Transmission Electron (STEM) | Scanning Transmission Electron (STEM) | |
A50.7107 | Elektronenstraal-geïnduceerde stroom (EBIC) | Elektronenstraal-geïnduceerde stroom (EBIC) | |
A50.7108 | Katodoluminescentie (CL) | Katodoluminescentie (CL) | |
A50.7109 | Plasma | Plasma | |
A50.7110 | Luchtluis, magazijn voor de uitwisseling van monsters | Luchtluis, magazijn voor de uitwisseling van monsters | |
A50.7111 | Beam Blanker | Beam Blanker | |
A50.7120 | Grote lmage stitching software | Grote lmage stitching software | |
A50.7121 | Deeltjesanalyse software | Deeltjesanalyse software | |
A50.7112 | Vacuümtransferhouder | Vacuümtransferhouder | |
A50.7113 | Raman-SEM-correlatieve systeem | Raman-SEM-correlatieve systeem | |
A50.7115 | UPS | UPS | |
A50.7114 | - | Kolom ingebouwde energietoevoeging ExB |
▶Sterke compatibiliteit, hoge aanpassingsvermogen b. met een vermogen van meer dan 50 W;Dit SEM-OS elektronenmicroscoop besturingssysteem is compatibel met SEM van verschillende fabrikanten en is compatibel met meerdere modellen, het SEM-ecosysteem uitbreiden
▶Geïntegreerde software en computers, eenvoudig en efficiënt Unieke gebruikersinterface, zonder herhaalde aanpassing aan verschillende terminals;Uitgerust met AI-algoritmen om informatie te verzamelen en real-time uitgangseffecten te presenteren met een duidelijker beeldkwaliteit en meer prominente details; Kernel gedreven SEM versnelt hardware controle |
1 Menubalk, 2 Snel bedieningsgebied, 3 Gegevensbalk, 4 Bewakingsgebied, 5 Navigatiegebied, 6 Alomvattend gebied, 7 Bedrijfsgebied, 8 Statusgebied |
De scannerelektronenmicroscoop van de A63.7140/A63.7160-serie is uitgerust met IGS-vacuümtransferstaven, EDS-energiespectrometers, Raman-spectroscopie en andere accessoires.een uitgebreide oplossing bieden voor onderzoek naar lithiumbatterijen uit de monstervoorbereiding, morfologische waarneming, samenstellingsanalyse en structurele analyse. |
Eerste stap:De overdrachtsstaaf wordt op de handschoenenbox geladen om de monsteroverdracht van de handschoenenbox naar de overdrachtsstaafruimte te voltooien.
Stap 2:Bij het monsteroverdrachtproces wordt de positieve druk in de staafkamer overgebracht.
Stap 3:De overdrachtsstaaf wordt op de elektronenmicroscoop geladen om het monster van de overdrachtsstaafkamer naar de hoofdkamer van de elektronenmicroscoop over te brengen.
Stap 4:Proefopname en gegevenspostverwerking, maatwerk volgens de behoeften van de gebruiker.
▶SEM+ EDS-spectrometer + Vacuum Transfer Rod + Raman-spectroscopie + Analyse-software
Structurele analyse. Mechanisme-analyse. Hoogprecise verplaatsingstabel. ▪ Maak de moleculaire structuur-analyse die de EDS-technologie niet kan bereiken, op en begrijp de samenstelling van het monster volledig ▪ Het realiseren van snelle schakeling tussen de optische as van Raman en de optische as van de elektronenstraal, multidimensionale analyse van de kenmerken van monsters en real-time tracking. De structurele evolutie van materialen tijdens het opladen en losladen en de grondige studie van hun ondersteunende mechanismen ▪ Grote slag met hoge precisie, piezo-elektrische keramische verplaatsingstafel met hoge snelheid, met geïntegreerde gegevensopname op dezelfde positie,Ontmoeting Stabiliteitsanalyse van confocale Raman-oppervlakte op lange termijn |